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光譜共焦厚高測(cè)量?jī)x
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●采用光譜共焦技術(shù)，非接觸測(cè)量，避免對(duì)鏡片造成二次損傷和污染
●可實(shí)現(xiàn)高頻率采集，操作方便，測(cè)量值實(shí)時(shí)顯示
●檢測(cè)速度快，高性能納米級(jí)檢測(cè)設(shè)備，可在8ms內(nèi)實(shí)現(xiàn)重復(fù)性高精度的檢測(cè)
●檢測(cè)精度可以達(dá)到±0.1um
●可以根據(jù)用戶現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)線的實(shí)際情況實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)檢測(cè)，進(jìn)行非標(biāo)定制
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